光宇應材 讓廢矽漿重生
2022-10-01 02:05:19經濟日報 / 記者張瑞益、李珣瑛/專題報導
半導體製造過程當中,產生的大量廢矽漿也能成為一門好生意。位於台南的光宇應材就是扮演把不起眼的廢矽漿化為循環經濟商機的魔術師,不僅減少半導體廢料對環境的影響,更為公司帶來豐厚的商機。
工研院綠能與環境研究所低碳與儲能技術組組長張文昇表示,半導體晶圓廠的矽晶圓在製程中經過切割、研磨所產生「矽的廢棄物」,又被稱為「矽砂漿」,估計每年約有2萬噸。傳統多以燃燒方式處理掉有機溶劑,所餘固態廢棄物多是採掩埋方式,既耗能又不夠環保。
光宇應材多年來投入半導體業循環經濟,目前已是全球最專業的半導體廢砂漿回收廠商,經過數十道工序之後,透過旗下專利製程,將廢砂漿轉化為二氧化矽和氫氣。
光宇應材也與工研院合作,其回收的95%純度的氫氣,利用工研院建置的「燃料電池發電系統」,並協助光宇應材進行氫氣發電可行性驗證。2021年迄今,已經運轉3,000多小時,發出幾萬度電供光宇應材使用。